RIE-PRINZIP: CYLOS 160/RIE

Vakuumrezipienten wahlweise aus Aluminium oder Edelstahl, Vakuumpumpen in korrosiv-gasfester Ausführung inkl. Ölnebelabscheider mit Ölrückführung, bis zu 4 Massendurchflußregler für die Gasversorgung Angepasster Gaseinlaß für optimale Verteilung Druckmessung je nach Anforderung mit kapazitiver Meßröhre oder Widerstandsmanometer (Pirani) Einkopplung der HF-Leistung mittels von AURION selbst konzipierter und gebauter Impedanz-Anpassungsnetzwerke mit automatischem Tuning Power-Split (bei mehreren Kathoden) DC-Bias-Regelung für gleiches Bias-Potential auf mehreren Kathoden Wahlweise halbautomatische oder PC-Steuerung inklusive Rezeptverwaltung und Datalogging