RIE-PRINZIP: CYLOS 160/RIE
Manufacturing industry
Machinery Industry
Metallurgical and metal processing
Metal products
Product description
RIE-PRINZIP: CYLOS 160/RIE;
Vakuumrezipienten wahlweise aus Aluminium oder Edelstahl, Vakuumpumpen in korrosiv-gasfester Ausführung inkl. Ölnebelabscheider mit Ölrückführung, bis zu 4 Massendurchflußregler für die Gasversorgung Angepasster Gaseinlaß für optimale Verteilung Druckmessung je nach Anforderung mit kapazitiver Meßröhre oder Widerstandsmanometer (Pirani) Einkopplung der HF-Leistung mittels von AURION selbst konzipierter und gebauter Impedanz-Anpassungsnetzwerke mit automatischem Tuning Power-Split (bei mehreren Kathoden) DC-Bias-Regelung für gleiches Bias-Potential auf mehreren Kathoden Wahlweise halbautomatische oder PC-Steuerung inklusive Rezeptverwaltung und Datalogging
Trade Areas
Products
DE
Manufacturing industry, Machinery Industry, Metallurgical and metal processing, Metal products
DE
Manufacturing industry, Machinery Industry, Metallurgical and metal processing, Metal products
DE
Manufacturing industry, Machinery Industry, Metallurgical and metal processing, Metal products
Phone:
E-Mail:
Support
Copyright Netetrade 2024. Developed by Yartu Labs